您现在的位置:环保在线>等离子清洗机频道 >产品 >GV10x顺流等离子清洗器

GV10x顺流等离子清洗器

参考价面议

- 更新时间 - 2025-01-26

厂商性质其他

公司名称天津奥辛博科技有限责任公司

型号

产地

联系人:请联系在线客服(联系我时,请说明是在环保在线上看到的,谢谢!)

产品简介

INTRODUCTION TO THE
随着纳米科学的发展,电子探针分析变得越来越具有挑战性:电子束能量降低,反应气体使用的增加,保持高分辨率越来越依赖于保持低碳污染状态和低HC污染水平

产品描述

DESCRIBE


随着纳米科学的发展,电子探针分析变得越来越具有挑战性:电子束能量降低,反应气体使用的增加,保持高分辨率越来越依赖于保持低碳污染状态和低HC污染水平。 顺流等离子工艺可以快速、方便地消除碳氢化合物的污染并进行样品清洗。 与传统的“等离子清洗器”中的动能清洗不同,顺流等离子清洗过程是一个温和的化学过程(无动力冲击)。 这一过程地改变了清除真空腔中碳和碳氢化污染的方法。

该工艺可高效地清洁大容积腔室和严重污染的表面。 GV10x 等离子清洗器只需1/10的时间即可清洁镜腔,因为它会使空气产生更高浓度的氢离子和氧离子,从而达到去污目的,其效果更为温和. 客户说“……使用GV10x,我们可以在1/10的时间内实现高效的清洁,比起传统方式,我们可在大面积镜腔里更均匀地控制碳氢化合物的污染。”

Before Cleaning image After Cleaning image

 

与使用冷凝捕集器、氮气吹尘和其他等离子清洁器去污染的传统方法相比,GV10x等离子清洗器清除碳污染的能力得到了重大的改善。 GV10x具有更大的功率和压力范围(5到100瓦,2到<0.005 Torr),代表了SEM和其他分析仪器(包括Mas-Spec、XPS等)中碳和碳氢化合物控制达到了典范式的转变。
原子氧和氢将表面碳转化为气态分子,不再像传统的方式那样只将其固化或吸附,而是将气态分子从镜腔中抽出,从而达到去污效果。 聚合沉积物等人工样品可在>5分钟的循环中被扫除掉。 由于不频繁的清洗周期,QWK™的配置结构允许GV10x 等离子清洗器可以在多个EM工具中保持较低的HC水平。

集团提供了可驱动和操作GV10x等离子体源的控制器。 实验室用户可依需求选择BT控制器或2U控制器。

从Windows软件或触摸屏,操作员可以:在运行期间进行设置和监控,可将功率从10瓦更改为99瓦。 从等离子源调整进气量可选择2 Torr <<5 mTorr的压力范围。GV10x宽压力范围允许在TMP速度下清除碳氢污染,而无需中断TMP系统的软件控制。 GV10x宽压力范围允许在TMP速度下清除碳氢污染,而无需中断TMP系统的软件控制。


Key Features

离子源的特点

电感耦合等离子体源
提供KF40、ConFlat和Qwk-Switch™附件
Qwk-Switch™快速接头– 实现仪器之间的无缝转换


控制器的特点

通过触摸屏或Windows系统进行操作
明亮灵敏的触摸屏
可调射频功率:5-100瓦
可调清洗时间,配置循环进度条
密码保护设置
垂直于地面的更小的占地面积(2U控制器)


GV10x 顺流等离子清洗器



关于我们|本站服务|会员服务|广告服务|企业建站|旗下网站|友情链接|兴旺通|意见反馈

环保在线 - 环保行业“互联网+”服务平台 copyright hbzhan.com all rights reserved 法律顾问:浙江天册律师事务所 贾熙明律师 IcP备案号:浙B2-20100369   广播电视节目经营许可证
网站客服:
采购客服:
采购微信:
服务咨询:
展会合作:
友情链接:
服务咨询:0571-87209775
客服热线:0571-87209775
采购热线:0571-87759925
投诉热线:0571-87209775

浙公网安备33010602000104号